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樓主  發表于: 2025-01-15 15:24
晶圓AOI設備   檢測對象子母環晶圓或鐵環晶圓  有什么比較好的自動對焦方式  目前用的慕藤光的圖像對焦
denghong
我是一只草泥馬.!
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1樓  發表于: 2025-01-16 09:40
總體來說同軸測量和對焦是最好的，但是一般成本貴，安裝受限制。 再者就是旁軸了，先掃描 ，再來對焦了。

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